Fördergeber:
Sächsisches Staatsministerium für Wirtschaft, Arbeit und Verkehr
Förderkennzeichen: 100297970/3103
Laufzeit: 01.07.2017 - 30.06.2019
Aluminiumreiche Titanaluminiumnitrid-Schichten, die vorwiegend harte kubische Phasen enthalten, bieten eine wesentlich bessere Verschleißbeständigkeit im Vergleich zu Titanaluminiumnitrid-Schichten mit geringeren Aluminium-Gehalten. Mit konventionellen PVD-Verfahren, wie dem Magnetronsputtern oder dem Arc-Verfahren, sind vorwiegend kubische und stöchiometrische Titanaluminiumnitrid-Schichten mit einer Aluminiumkonzentration > 32 at.-% bisher nicht herstellbar. Demgegenüber können solche aluminiumreichen kubischen Titanaluminiumnitrid-Schichten mit einem thermischen CVD-Prozess auf Hartmetallsubstraten abgeschieden werden. Die Ursachen für die Stabilisierung der kubischen Phase im CVD-Prozess bei sehr hohen Aluminium-Gehalten sind jedoch nicht geklärt. Deshalb sollen die relevanten Stabilisierungsmechanismen ergründet, Konzepte für die Verbesserung der Schichtabscheidung sowohl für den CVD-Prozess als auch für die betrachteten PVD-Prozesse erarbeitet, experimentell erprobt und die resultierenden Schicht- und Anwendungseigenschaften ermittelt werden. Mit diesem Vorhaben wird das Gesamtziel verfolgt, die Mechanismen der CVD-Abscheidung tiefer zu untersuchen, die Anwendungseigenschaften der mit den PVD-Prozessen abgeschiedenen Titanaluminiumnitrid-Schichten wesentlich zu verbessern und PVD-Verfahren mit höherer Schichtabscheidungsrate und besseren Schichteigenschaften zu erproben.