Präzisionsbeschichtung

Wir entwickeln Prozesse und Technologien, um elektrische, optische, akustische oder magnetisch wirksame Schichten und Schichtsysteme mit Vakuumverfahren präzise und homogen auf große Flächen aufzubringen. So legen wir die Grundlagen für neue Produkte in den Branchen Optik, Elektronik und Sensorik, Photovoltaik, Display, Speichermedien sowie Biomedizintechnik.

Für unsere Kunden entwickeln wir kostengünstige Technologien zur Herstellung innovativer Produkte, für die die Kombination verschiedener Schichteigenschaften die Produkteigenschaften wesentlich bestimmen. Die langzeitstabilen Sputterprozesse eignen sich für die Herstellung von Präzisionsschichtsystemen.

Unsere Leistungen umfassen die angepasste Entwicklung von Schlüsselbaugruppen, Verfahren und Schichtsystemen, die Abscheidung von Schichten und Schichtsystemen in unseren Labor- und Pilotanlagen sowie die Aufskalierung der Verfahren und Überführung integrierter Pakete aus Hardware und Technologie in die Produktion.

Das Geschäftsfeld Präzisionsbeschichtung vereinigt vier Arbeitsgruppen aus den Bereichen Sheet-to-Sheet Technologien und der Präzisionsbeschichtung mit folgenden Themenschwerpunkten:

• Schichtsysteme und Gradientenschichten für präzisionsoptische Bauelemente (Filter, Spiegel)
• Antireflex- und Antireflex-Antistatik-Beschichtungen von optischen Komponenten mit hohen Anforderungen an Stressreduktion und klimatische Beständigkeit (Brillenlinsen, Optiken)
• Akustisch wirksame Schichten auf Oberflächenwellenbauelementen
• Schichten und Schichtsysteme für magnetische und optische Speichermedien (Festplatten, CD, DVD)
• Mechanische Schutzschichten für Magnetköpfe und Sensoren
  
• Kontaktschichtsysteme und Diffusionsbarrieren in elektronischen Komponenten für den Einsatz bei erhöhten Temperaturen
• Elektrische Isolator-, Barriere- und weitere funktionale Schichten für Sensoren (z. B. Gassensorik)
  
• Photokatalytische Schichten, Isolator- und Barriereschichten für Komponenten in der Bio- und Medizintechnik
• Piezoelektrische Schichten für die Ultraschallmikroskopie sowie für die Mikroenergiegewinnung (Energy Harvesting)

Zur Forschung und Entwicklung sowie Pilotproduktion von Präzisionsbeschichtungen stehen am Fraunhofer FEP mehrere Pilot- und Laboranlagen zur Verfügung. Je nach Anforderung entwickeln wir für Sie die optimale Applikation, Technologie und Schicht. Je nach Substrat, Beschichtungstechnologie und verwendeten Schichtmaterialien können wir für Ihre optimale Lösung auf folgende Anlagen zurückgreifen: