Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl-
Zum 1.11.2022 ist das Projekt „Eine neue Generation von Schlüsselkomponenten für die drahtlose, optische und Quanten-Kommunikation, basierend auf abstimmbaren ferroelektrischen Nitridschichten (WOQ-COMP)“ zwischen der Carnegie Mellon University (CMU) und dem Fraunhofer FEP gestartet. Ziel des Projektes ist die Entwicklung von Schlüsseltechnologien zur Herstellung neuer Bauelemente auf dem Gebiet der drahtlosen und optischen Kommunikation
Geplante Demonstratoren im Projekt sind zum einen abstimmbare RF-Filter, wie sie für die fortgeschrittene Mobilfunktechnologie benötigt werden, sowie Wellenleiter-basierte optische Frequenzkonverter. Diese Bauelemente basieren auf den piezoelektrischen und ferroelektrischen Eigenschaften des Dünnschicht-Materials Aluminium-Scandium-Nitrid (AlScN). Fraunhofer FEP entwickelt dabei die Technologie zur plasmabasierten Abscheidung der AlScN- Schicht.
Das Projekt verknüpft die einzigartigen Fähigkeiten der Carnegie Mellon University zu Design und Herstellung von piezoelektrischen Mikro- und Nanosystemen mit der Kompetenz des Fraunhofer FEP in der vakuumbasierten Schichtabscheidung mittels Magnetronsputterns, einschließlich vielfältiger Ansätze zur Beeinflussung von Schichteigenschaften über die Wachstumsparameter.
Das Projekt wird über das interne Programm ICON (International Cooperation and Networking) der Fraunhofer-Gesellschaft gefördert, das die Intensivierung der Zusammenarbeit von Fraunhofer mit exzellenten internationalen Partnern zum Ziel hat. Die Laufzeit beträgt 3 Jahre. Begleitet wird das Projekt von einem mit Spezialisten aus Industrie und Wissenschaft international besetzten Komitee, das Ziele, Methoden und Stand der Arbeiten regelmäßig bewertet.