Workshop / 21. Mai 2012 - 22. Mai 2012
Festkörperphysikalische Grundlagen und Technologien
Vortrag
Dr. M. Junghähnel
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
»Hochrateabscheidung von TCOs auf der Basis von ZnO und TiO2 durch Sputtern von oxidischen Rohrtargets«
22.05., 15:10 Uhr