PreSensLine

In-Line Sputter-Anlage für die Präzisionsbeschichtung großer Substrate mit folgenden Basistechnologien:

• gepulstes Sputtern
• Plasmavorbehandlung

Typische Substrate

• Substratgröße: 650 mm × 750 mm × 120 mm
• rotierende Substrate: bis zu Ø 550 mm
• Substratrotation: bis zu 20 Hz
  
  

Aufgabenspektrum

• Entwicklung und Optimierung von Beschichtungstechnologien und Schichtsystemen
• Beschichtung von Musterstücken und Pilotproduktionen
• Entwicklung von Schlüsselbaugruppen, wie Magnetronsputterquellen und Plasma-Ätzer